市工信局首臺(tái)(套)重大技術(shù)裝備推廣應(yīng)用指導(dǎo)目錄（2020年版）（征求意見稿）
| 1.高端能源裝備 | |||
| 編號(hào) | 產(chǎn)品分類及名稱 | 單位 | 產(chǎn)品性能技術(shù)參數(shù) |
| 1.1 | 深海域海浪發(fā)電機(jī)組 | 套 | 單位面積內(nèi)波浪能轉(zhuǎn)化效率≥70%；單機(jī)機(jī)組功率范圍覆蓋(2～5)MW；機(jī)組模塊功率≥2kW；機(jī)組尺寸≥(20×10×8)m |
| 1.2 | 整套燃料電池儲(chǔ)氫容器高端制造及檢測設(shè)備 | 套 | 容器工作壓力≥70MPa；容器容積覆蓋(100～450)L；工作環(huán)境溫度覆蓋(-40～85)℃；合格率≥99% |
| 1.3 | 220kV蒸發(fā)冷卻電力變壓器 | 臺(tái) | 電壓等級(jí)220kV；容量≥75MVA；溫升≥10K(基于現(xiàn)有電力變壓器) |
| 1.4 | 油田加熱爐管理集控裝置 | 臺(tái) | 熱效率≥5%；過剩空氣系數(shù)(1.2～1.3)；排煙溫度(130～140)℃；節(jié)氣率≥3% |
| 1.5 | 600MW機(jī)組凝汽器 | 臺(tái) | 循環(huán)水量≥67700m3/h；抽氣流量≥2500m3/h，設(shè)計(jì)背壓≥4.67kPa；凝汽器冷卻面積≥38000m2；左右側(cè)平均水阻≤46.3kPa；管束區(qū)整體傳熱系數(shù)≥3000W/(m2·K) |
| 1.6 | 節(jié)能熔鋁爐 | 臺(tái) | 轉(zhuǎn)爐鋁水溫度范圍(710～730)℃；熔化速度范圍(1.0～1.2)×104kg/h；天然氣能耗≤58立方米/噸 |
| 1.7 | 燃料電池汽車用氫氣瓶多工位纏繞系統(tǒng) | 套 | 纏繞機(jī)工位數(shù)≥5；單軸工件最大質(zhì)量≥100kg；最大纏繞角≥360°；主軸轉(zhuǎn)速≥60 rpm |
| 1.8 | 精餾系統(tǒng)設(shè)備 | 臺(tái) | 產(chǎn)品純度≥99.9%(v/v)；水含量≤0.1%(m/m)；能耗≤0.8kW/L |
| 2.成形及加工專用裝備 | |||
| 編號(hào) | 產(chǎn)品分類及名稱 | 單位 | 產(chǎn)品性能技術(shù)參數(shù) |
| 2.1 | 數(shù)控機(jī)床與機(jī)器人 | ||
| 2.1.1 | 管道爬行機(jī)器人 | 臺(tái) | 檢測速度≥9°/s；管徑范圍覆蓋≥(270-330)mm；自動(dòng)伸出壁爪數(shù)≥6(下降60mm) |
| 2.1.2 | 高精度移動(dòng)作業(yè)機(jī)器人 | 臺(tái) | 移動(dòng)作業(yè)機(jī)器人定位誤差≤±5mm；物料取放定位誤差≤±0.05mm；24小時(shí)不間斷自動(dòng)供氣/充電 |
| 2.1.3 | 打磨機(jī)器人 | 臺(tái) | 力反饋誤差≤±0.1N；位置誤差≤±0.06mm；毛刺殘留高度≤0.3mm |
| 2.1.4 | 高精度數(shù)控機(jī)床 | 臺(tái) | X/Y/Z定位精度≤±0.001mm；X/Y/Z重復(fù)定位精度≤±0.001mm；主軸轉(zhuǎn)速≥60000rpm |
| 2.1.5 | 數(shù)控坐標(biāo)鏜床 | 臺(tái) | 坐標(biāo)精度≤±0.003mm；圓度≤0.003mm；表面粗糙度≤Ra0.8μm |
| 2.2 | 激光加工設(shè)備 | ||
| 2.2.1 | 高分辨率面曝光3D打印機(jī) | 臺(tái) | 單像素50μm的最大打印尺寸≥(384×216×300)mm；打印最小曝光像素≤2μm；面曝光光固化分辨率≥3000萬像素 |
| 2.2.2 | 精密激光錫球焊錫機(jī) | 臺(tái) | 焊接尺寸誤差≤±10μm；產(chǎn)品最小間隙≤100μm；產(chǎn)品錫球規(guī)格覆蓋(100～1500)μm |
| 2.2.3 | 光纖激光切割機(jī) | 臺(tái) | 切割鋼板厚度覆蓋(30～50)mm；X/Y軸定位精度≤±0.02mm/m； |
| 切割速度≥0.18m/min | |||
| 2.2.4 | 自動(dòng)耦合激光焊接機(jī) | 臺(tái) | 角度誤差≤±0.02°；焊槍位置調(diào)節(jié)誤差≤±1μm，激光輸出能量差異調(diào)節(jié)相對(duì)誤差≤±3% |
| 2.2.5 | 千瓦級(jí)高功率光纖激光清洗機(jī) | 臺(tái) | 激光功率≥2000W；掃描寬度覆蓋(10～80)mm；清洗效率≤3min/m2 |
| 2.2.6 | OLED激光打標(biāo)設(shè)備 | 臺(tái) | 整體打標(biāo)位置誤差≤±100μm；打碼尺寸誤差≤±20μm；Tact time≤4.5s； |
| 打碼質(zhì)量A等級(jí)(ISO15414)≥70% | |||
| 2.2.7 | OLED激光鉆孔切割設(shè)備 | 臺(tái) | 節(jié)拍時(shí)間≤4.5s；檢測誤差≤±5μm；切割尺寸誤差≤±30μm |
| 2.2.8 | 大功率多模連續(xù)光纖激光器 | 臺(tái) | 平均輸出功率≥25kW；輸出功率調(diào)節(jié)范圍覆蓋(10%-100%)；光束質(zhì)量：BPP≤9 |
| 2.3 | 增材制造設(shè)備 | ||
| 2.3.1 | 高精度陶瓷3D打印機(jī) | 臺(tái) | 成型尺寸≥(96 ×54 ×200)mm；成型尺寸誤差≤±10μm；成型速度≥600層/小時(shí) |
| 2.3.2 | 非金屬材料超高速光固化增材制造裝備 | 臺(tái) | 成型尺寸≥(192 ×108 ×300)mm；最小層厚≤1μm ；成型速度≥2100mm/h |
| 2.3.3 | 金屬3D打印機(jī) | 臺(tái) | 跳動(dòng)誤差≤±0.01mm(行程700mm)；基板升降模塊：平行度≤0.01mm，重復(fù)定位精度≤±0.05mm；打印尺寸誤差≤±0.05mm；打印效率≥120cm3/s |
| 2.3.4 | SLA 3D光固化成型的雙掃描頭打印機(jī) | 臺(tái) | 成型尺寸≥1700mm(X)×800mm(Y)×600mm(Z)；打印準(zhǔn)確度：最大允許誤差≤±0.1mm(尺寸≤100mm)，最大允許誤差≤±0.1%(尺寸＞100mm) |
| 2.4 | 其他成形加工設(shè)備 | ||
| 2.4.1 | 超大型綠色智能網(wǎng)聯(lián)壓鑄機(jī) | 臺(tái) | 鎖模行程≥2300mm；鎖模力≥60000kN；增壓建壓時(shí)間≤30 ms |
| 2.4.2 | 多軸拋光設(shè)備 | 臺(tái) | 軸數(shù)≥3；拋光后表面尺寸誤差≤±0.015mm ；重復(fù)定位精度≤±0.01mm；表面粗糙度 Ra≤0.01μm；產(chǎn)品合格率>98% |
| 2.4.3 | 全自動(dòng)多站式輪胎成型機(jī) | 臺(tái) | 最大系統(tǒng)壓力≥15Mpa；鎖模力≥5880kN；射出壓力≥15480N/cm2 |
| 2.4.4 | 高端材料高溫?zé)Y(jié)窯爐 | 臺(tái) | 內(nèi)部有效總長≥13m；窯車長度≥1.8m；燒成溫度≥1250℃； |
| 單次燒成時(shí)間≤32h；產(chǎn)量≥288件/窯 | |||
| 2.4.5 | 非金屬內(nèi)膽復(fù)合材料液化石油氣氣瓶生產(chǎn)線 | 套 | 纏繞機(jī)工位數(shù)≥5；最大纏繞角≥360°；X/Y軸最大工作速度≥20m/min |
| 2.4.6 | 塑料燃油箱打孔焊接生產(chǎn)線 | 套 | 產(chǎn)品加工周期≤75s；產(chǎn)品切換時(shí)間≤30min；產(chǎn)品合格率≥99.8% |
| 2.4.7 | 汽車零部件機(jī)器人自動(dòng)噴涂系統(tǒng) | 套 | 軸數(shù)≥6；手腕負(fù)重≥98N；手腕工作范圍覆蓋(-140°~+140°)；節(jié)拍≤45s/pcs；產(chǎn)品合格率≥96% |
| 2.4.8 | 自動(dòng)分板裁邊線 | 套 | 圖像識(shí)別尺寸誤差≤±0.2mm；裁切加工尺寸誤差≤±1mm；最快生產(chǎn)節(jié)拍≥8pcs/min |
| 2.4.9 | 在線真空自動(dòng)灌膠線(含晾干線) | 套 | 灌膠產(chǎn)能≥1200臺(tái)/小時(shí)(E6標(biāo)準(zhǔn)器)；混合出膠速度≥90g/s，重復(fù)精度≤±2%；灌膠方式：在線式三級(jí)灌膠頭同時(shí)灌膠 |
| 2.4.10 | 點(diǎn)料機(jī) | 臺(tái) | 管電壓覆蓋(20～80)kV；掃描高度≥85mm；X射線泄漏量≤1μSv/h |
| 2.4.11 | 自動(dòng)化涂覆涂裝設(shè)備 | 臺(tái) | 重復(fù)定位精度≤±0.08mm；線速覆蓋(0.5～3)m/min；最大負(fù)載≥6kg |
| 2.4.12 | 管式等離子體淀積爐 | 臺(tái) | 溫度覆蓋(350～600)℃，溫度誤差≤±2℃；漏氣率：關(guān)泵后，壓力上升率≤1 Pa /min，真空度≤3Pa；下垂量≤10mm(載荷75kg砝碼)；工藝指標(biāo)：片內(nèi)均勻性≤±3%，片間均勻性≤±2%，批間均勻性≤±2% |
| 2.4.13 | 多工位自動(dòng)輪轉(zhuǎn)模切機(jī) | 臺(tái) | 產(chǎn)品尺寸≥460mm；套切尺寸誤差≤±0.15mm；生產(chǎn)速度≥50m/min |
| 2.4.14 | 自動(dòng)涂布機(jī) | 臺(tái) | 產(chǎn)速≥7pcs/min；膜厚覆蓋(8～14)μm；膜均勻性≤±10% |
| 2.4.15 | 龍門型氧化全自動(dòng)生產(chǎn)線 | 套 | 移動(dòng)速度≥15m/min；數(shù)量≥540件/桿；節(jié)拍≤5分鐘/桿；產(chǎn)能≥325m2/h |
| 2.4.16 | SMT載具整線回流系統(tǒng) | 套 | PCB上料定位精度≤±0.1mm，適應(yīng)載具尺寸覆蓋[(100×100)mm～(400×400)mm]；整線產(chǎn)能≥720pcs/h；載具寬度覆蓋(100～170)mm；節(jié)拍≤12s/pcs |
| 2.4.17 | 機(jī)器人全自動(dòng)噴涂生產(chǎn)線 | 套 | 輸送停機(jī)位置誤差≤±1mm；混線生產(chǎn)準(zhǔn)確率≥99.9%；輸送速度≥3m/min；噴涂節(jié)拍≤3.7s/pcs |
| 2.4.18 | 管道修護(hù)專用車 | 臺(tái) | 系統(tǒng)操作壓力≥0.8MPa；輸送速度覆蓋(12～36)m/s；系統(tǒng)操作電壓24V |
| 2.4.19 | 鍍膜機(jī)/退鍍機(jī) | 套 | 電極距離可處理物的高度覆蓋(1～2)mm；處理速度覆蓋(0.5～4)m/min； |
| 一次性退鍍后水接觸角覆蓋(10～25)° | |||
| 3.電子專用裝備 | |||
| 編號(hào) | 產(chǎn)品分類及名稱 | 單位 | 產(chǎn)品性能技術(shù)參數(shù) |
| 3.1 | 半導(dǎo)體及顯示面板制造裝備 | ||
| 3.1.1 | 半導(dǎo)體測試分選機(jī) | 臺(tái) | 生產(chǎn)能力≥50000pcs/h；MTBA(平均報(bào)警間隔)≥1h；MTBF(平均故障間隔)≥220h |
| 3.1.2 | DLEA系列全自動(dòng)曝光機(jī) | 臺(tái) | 有效曝光面積≥(2500×1300)mm2；能量均勻度≥92%；線路解析度：35μm/35μm |
| 3.1.3 | 點(diǎn)膠機(jī) | 臺(tái) | 運(yùn)行速度≥500mm/s；重復(fù)定位精度≤±0.03mm；點(diǎn)膠頻率≥999秒/次 |
| 3.1.4 | 高精度探針臺(tái) | 臺(tái) | X/Y軸定位精度≤±3μm；X/Y軸重復(fù)定位精度 ≤±1μm；Z軸重復(fù)定位精度≤±1μm；硅片載臺(tái)平面度≤10μm，最大負(fù)載≥980N |
| 3.1.5 | 芯片老化機(jī) | 臺(tái) | TEC溫度控制范圍覆蓋(25~85)℃；溫度均勻性≤±1℃；整機(jī)通道數(shù)≥192 |
| 3.1.6 | OLED全自動(dòng)貼合機(jī) | 臺(tái) | 貼合位置偏差≤±0.1mm；折彎重復(fù)精度≤±20μm；crack比例≤0.3%；貼合效率≤12秒/片 |
| 3.1.7 | 沉積薄膜生長設(shè)備 | 臺(tái) | 合成+測試≥256樣品/天；薄膜雜質(zhì)≤5ppm；薄膜厚度范圍覆蓋(1nm~10μm) |
| 3.1.8 | 自動(dòng)OCA全貼合機(jī) | 臺(tái) | 點(diǎn)膠位置偏差≤±0.7mm；LCM貼合位置偏差≤±50μm； |
| 檢測誤判率≤0.5%(檢測對(duì)象點(diǎn)膠、全貼合精度、全貼合氣泡)，過檢率≤0.5% | |||
| 3.1.9 | 柔性顯示面板加壓脫泡設(shè)備 | 臺(tái) | 設(shè)備稼動(dòng)率≥95%；生產(chǎn)節(jié)拍≤4s；加壓最大允許誤差≤±0.03Mpa； |
| 尺寸誤差≤±5mm | |||
| 3.1.10 | 電子薄膜生產(chǎn)設(shè)備 | 臺(tái) | 幅寬≥1200mm；生產(chǎn)速度≥12m/min；產(chǎn)能≥19.4kg/h；薄膜厚度范圍覆蓋(7.5~50)μm |
| 3.1.11 | 晶圓自動(dòng)印刷機(jī) | 臺(tái) | 對(duì)位位置偏差≤±0.007mm；生產(chǎn)節(jié)拍≤15秒/件；產(chǎn)品尺寸范圍覆蓋(?25~?100)mm.；產(chǎn)品合格率≥99% |
| 3.1.12 | 高精度全自動(dòng)固晶機(jī) | 臺(tái) | 貼片位置偏差≤±5μm @3sigma；貼片效率≥800pcs/h |
| 3.1.13 | 小功率芯片老化機(jī) | 臺(tái) | 最大輸出2.5V/500mA；TEC溫度控制范圍覆蓋(25~85)℃；溫度均勻性≤±0.5℃ |
| 3.1.14 | OLED顯示屏自動(dòng)檢測機(jī) | 臺(tái) | 功能范圍：點(diǎn)線AOI檢查、Mura AOI檢查、外觀AOI檢測、Cell預(yù)Gamma、TP測試等；壓接位置偏差≤±10μm，壓接合格率≥99.99%；點(diǎn)/線不良檢出率≥99.9% |
| 3.1.15 | OLED屏體模組終測設(shè)備 | 臺(tái) | 功能范圍：點(diǎn)線AOI檢查、Mura AOI檢查、Gamma白平衡校正及OTP、TP測試等；壓接合格率≥99.99%；Mura缺陷檢測準(zhǔn)確率≥97.5%；點(diǎn)/線缺陷檢測準(zhǔn)確率≥99.5% |
| 3.1.16 | 封裝三維形貌測量設(shè)備 | 套 | 三維形貌測量精度≤0.2nm；膜厚測量精度≤0.1nm；晶圓厚度測量精度≤0.25μm；系統(tǒng)吞吐量≥70 WPH |
| 3.1.17 | 晶圓三維表面缺陷檢測設(shè)備 | 套 | 正面：檢測最小缺陷尺寸誤差≤1μm，產(chǎn)率≥65 pcs/h@4.5μm分辨率，缺陷抓取率≥99.5%；背面：產(chǎn)率≥70 pcs/h@6.5μm分辨率，缺陷抓取率≥99.5%；邊緣：檢測最小缺陷尺寸誤差≤3.3μm，產(chǎn)率≥50 pcs/h(五個(gè)位置數(shù)據(jù))，缺陷抓取率≥99% |
| 3.1.18 | OLED柔性顯示屏缺陷檢測系統(tǒng) | 套 | 支持柔性面板尺寸優(yōu)于6代面板(1850 mm ×1500 mm)； |
| 分辨率≤0.8μm；檢測效率≥2張/秒 (復(fù)檢200個(gè)缺陷圖片) | |||
| 3.1.19 | 卷對(duì)卷IC高速鍍輪式鍍銀設(shè)備 | 套 | 產(chǎn)品片寬覆蓋(10~120)mm；片厚范圍覆蓋(0.08~1.0)mm；鍍區(qū)厚度均勻性≤±0.015mm |
| 3.1.20 | 固態(tài)光學(xué)膠貼合機(jī) | 臺(tái) | Panel+C/F貼合(STS)：Rolloer+Stage，貼合位置偏差≤±0.075mm(3sigma)；Panel+C/F貼合(STS)+OCA(STS)：Rolloer+Stage，貼合位置偏差≤±0.075mm(3sigma) |
| 3.1.21 | 車用顯示屏曲面貼合自動(dòng)線 | 套 | Plasma清潔CG水滴角≤15?；3D硅膠仿形貼合中硅膠的硬度(45~55)HRB；真空貼合壓力≤50Pa；貼合位置偏差≤±0.15mm |
| 3.2 | 電池生產(chǎn)裝備 | ||
| 3.2.1 | 方形鋁殼三元鋰電池自動(dòng)裝配線 | 套 | 熱壓板壓力最大允許誤差≤980N；電芯配對(duì)誤差≤0.3mm；產(chǎn)品合格率≥99.5%；生產(chǎn)效率≥12件/分；設(shè)備稼動(dòng)率≥95% |
| 3.2.2 | 鋰離子電池全自動(dòng)注液系統(tǒng) | 套 | 每條注液線效率≥8pcs/min，合格率≥99.8%；電子稱重質(zhì)量誤差≤±0.1g；響應(yīng)時(shí)間≤1s；注液相對(duì)誤差≤±0.75% |
| 3.2.3 | 全自動(dòng)真空干燥注液機(jī) | 臺(tái) | 注液相對(duì)誤差≤±1%；一次注液合格率＞99%；注液量≤500ml |
| 3.2.4 | 鋰電池隔膜干法單向拉伸生產(chǎn)線 | 套 | 產(chǎn)品最大寬幅≥1200mm；拉伸/收卷速度≥30m/min；拉伸層數(shù)≥24層；速度相對(duì)誤差≤±3% |
| 3.2.5 | 并線式鋰電真空干燥裝備線 | 套 | 腔體真空度≤10Pa ；溫度均勻性≤±3℃；產(chǎn)能≥5000pcs/h；生產(chǎn)電池類型數(shù)≥5 |
| 3.2.6 | 鋰電池全自動(dòng)疊片機(jī) | 臺(tái) | 疊片速度≥5pcs/s；極片裁切后長度誤差≤±0.2mm；電芯整體對(duì)齊位置偏差≤±0.5mm；產(chǎn)品合格率≥99% |
| 3.2.7 | 高速五金切片 | 臺(tái) | 模切速度≥180pcs/min；糾偏最大允許誤差≤±0.1mm；送料位置偏差≤±0.1mm；極片成型誤差≤±0.1mm；縱向毛刺長度(Vh)≤12μm |
| 3.2.8 | 鋰電池高溫靜置爐 | 臺(tái) | 加熱溫度控制范圍覆蓋(30~80)℃；初次升溫時(shí)間≤0.5h[加熱(30-80)℃]；首次合格率≥99.5% |
| 3.2.9 | 等離子增強(qiáng)化學(xué)氣相沉積(PECVD)鍍膜系統(tǒng) | 臺(tái) | 產(chǎn)能≥4000pcs/h；碎片率≤0.05%；uptime≥95%；片內(nèi)膜厚不均勻性≤5%，片間膜厚不均勻性≤4%，批間膜厚不均勻性≤4% |
| 3.2.10 | 鋰電池隔膜涂覆設(shè)備 | 臺(tái) | 整機(jī)涂布速度≥100m/min；機(jī)械速度≥150m/min；涂布寬度≥1200mm |
| 3.2.11 | 3.4mm超窄幅極片分切機(jī) | 臺(tái) | 分切毛刺尺寸≤4μm；分切速度≥20m/mim；分切尺寸最大允許誤差≤±0.05mm；張力最大允許誤差≤±1N；速度相對(duì)誤差≤±0.5% |
| 3.2.12 | 鋰電池激光制片設(shè)備 | 臺(tái) | 激光切割尺寸誤差≤±0.2mm；毛刺尺寸≤20μm，熱影響區(qū)≤100μm；生產(chǎn)速度≥90m/min；分切寬度示值誤差≤±0.1mm |
| 3.2.13 | 高速分散機(jī) | 臺(tái) | 分散區(qū)最大線速度≥30m/s；單批次制漿時(shí)間≤2h；單機(jī)產(chǎn)能：負(fù)極漿料≥25kg/min；正極漿料≥33kg/min |
| 3.2.14 | 鋰電池全自動(dòng)切邊粘膠生產(chǎn)線 | 套 | 極耳位置偏差≤±0.3mm；對(duì)位位置偏差≤±0.35mm； |
| 點(diǎn)膠位置偏差≤±1.5mm；生產(chǎn)效率≥16pcs/min | |||
| 3.2.15 | 方形鋰電池正壓氦檢機(jī) | 臺(tái) | 最小可檢漏率：1.0×10-12Pa·m3/s；漏率范圍：(1.0×10-12～1.0×10-3)Pa·m3/s； |
| 響應(yīng)時(shí)間≤1s | |||
| 3.2.16 | 無延展輥壓機(jī) | 臺(tái) | 輥壓后厚度均勻性≤±1.5μm；軋輥表面硬度≥68HRC； |
| 張力控制最大允許誤差≤±2N；收卷尺寸偏差≤±0.4mm | |||
| 3.2.17 | 納米陶瓷砂磨機(jī) | 臺(tái) | 分體流量≥4000L/h；最大轉(zhuǎn)速≥3000rpm，能耗≤0.2kWh/kg；承受缸體壓力≥0.3MPa，缸體溫度≤40℃ |
| 3.2.18 | CE異形鋰電池切疊一體機(jī) | 臺(tái) | 疊片效率≥1pcs/s；極片尺寸誤差≤±0.1mm；陰陽極片邊緣位置偏差≤±0.3mm；隔膜對(duì)齊位置偏差≤±0.3 |
| 3.2.19 | 鋰離子電池電芯焊接貼膠一體機(jī) | 臺(tái) | 焊接拉力≥10N(基于1160電芯)；下層熔深：陰極(0.04～0.2)mm，陽極(0.04～0.12)mm；正負(fù)極鎳片間距(2.42±0.3)mm；側(cè)膠位置偏差≤±0.3mm |
| 3.2.20 | 軟包鋰電池自動(dòng)真空封裝機(jī) | 臺(tái) | 生產(chǎn)效率≥16pcs/min；封印厚度誤差≤±0.01mm，未封區(qū)尺寸范圍(0.2～0.8)mm |
| 3.3 | 檢測測量儀器 | ||
| 3.3.1 | AI外觀分選機(jī) | 臺(tái) | 漏檢率≤0.01%(良品倉中的不良品)；過撿率≤5%(不良品倉中的良品)； |
| 設(shè)備稼動(dòng)率≥95%[稼動(dòng)率=(實(shí)際產(chǎn)出數(shù)量/理論產(chǎn)出數(shù)量)×100%] | |||
| 3.3.2 | 半導(dǎo)體透視檢測設(shè)備 | 臺(tái) | 幾何放大倍率≥480；光管電壓≥90kV；分辨率≥110 lp/cm |
| 3.3.3 | 二維自動(dòng)跟蹤軌跡測試系統(tǒng) | 臺(tái) | 水平方向：轉(zhuǎn)動(dòng)角度覆蓋(0°～360°)，角速度≥300°/s，角加速度≥240°/s2；俯仰方向：轉(zhuǎn)動(dòng)角度覆蓋(0°～30°)，角速度≥60°/s，角加速度≥60°/s2 |
| 3.3.4 | 半導(dǎo)體器件測試系統(tǒng) | 臺(tái) | PCB板尺寸≥[350(L)×250(W)×50(H)]mm；直通率≥99.9%；重復(fù)定位精度≤0.3mm；PCB板傳送速度≥4m/min；設(shè)備節(jié)拍≤20s |
| 3.3.5 | 儲(chǔ)能與動(dòng)力測試設(shè)備 | 臺(tái) | 最大直流輸出功率≥800kW；輸入側(cè)電流諧波誤差(THD)≤5%；輸出直流電壓相對(duì)誤差≤±0.1%FS；輸出直流電流相對(duì)誤差≤±0.1%FS |
| 3.3.6 | 氦檢漏設(shè)備 | 臺(tái) | 油箱總成的泄漏率檢測最大允許誤差≤5×10-5Mbar·L/min；油箱總成的運(yùn)行周期≤65s；檢測油箱的容積覆蓋(55～90)L；氦氣回收利用率≥85% |
| 3.3.7 | 坐標(biāo)測量機(jī) | 臺(tái) | 示值誤差≤±(0.6+L/500)μm；探測誤差≤0.8μm；單軸最大速度≥250 mm/s |
| 3.4 | 其他電子專用裝備 | ||
| 3.4.1 | 3C小件精密組裝測試生產(chǎn)線 | 套 | 產(chǎn)能≥700pcs/h；綜合組裝位置偏差≤±0.02mm；稼動(dòng)率≥95%；產(chǎn)品合格率≥99% |
| 3.4.2 | 精密電子自動(dòng)貼裝系統(tǒng) | 套 | 貼裝速度≥6000pcs/h；貼裝位置偏差≤±0.1mm；貼裝范圍覆蓋(1～90)mm；調(diào)試時(shí)間≤10分鐘/顆；托盤定位精度≤±0.01mm |
| 4.醫(yī)療專用裝備 | |||
| 編號(hào) | 產(chǎn)品分類及名稱 | 單位 | 產(chǎn)品性能技術(shù)參數(shù) |
| 4.1 | 醫(yī)用成像設(shè)備 | ||
| 4.1.1 | 數(shù)字胃腸X射線系統(tǒng) | 臺(tái) | 點(diǎn)片空間分辨率≥3.4 lp/mm；透視空間分辨率≥3.1 lp/mm；攝影管電流范圍覆蓋(10～1000)mA，電流相對(duì)偏差≤±20%；透視管電流范圍覆蓋(0.5～20)mA，電流偏差≤±(10%RD＋1mA) |
| 4.1.2 | 多光譜眼底照相機(jī) | 臺(tái) | 視場角≥63°；最小瞳孔直徑≤3.5mm(2.5mm可拍攝45°眼底范圍)； |
| 像素≥1600萬像素 | |||
| 4.1.3 | 超導(dǎo)型磁共振成像系統(tǒng) | 臺(tái) | 主磁場強(qiáng)度≥3.0T(3.0T誤差≤±0.5%)；譜儀射頻系統(tǒng)通道數(shù)≥16；零液氦揮發(fā) |
| 4.1.4 | 多排螺旋計(jì)算機(jī)斷層掃描(CT)系統(tǒng) | 臺(tái) | 球管熱容量≥8.0 MHU；探測器Z軸排列數(shù)≥64排；探測器每排單元數(shù)≥896個(gè)；最快轉(zhuǎn)速≤0.37s |
| 4.1.5 | 數(shù)字化乳腺X射線攝影系統(tǒng) | 臺(tái) | 整機(jī)最大輸出功率≥5kVA；X射線管最大電壓40kV；X射線管最大電流200mA，X射線管最大電流時(shí)間積600mAs；空間分辨率≥10 lp/mm |
| 4.1.6 | 眼科專用彩色多普勒超聲診斷系統(tǒng) | 臺(tái) | 成像功能≥3(B型、D型、PW型)；物理通道數(shù)≥64；高頻線陣探頭支持?jǐn)?shù)量≥192 |
| 4.1.7 | 多功能網(wǎng)絡(luò)視頻電子內(nèi)窺鏡攝像系統(tǒng) | 臺(tái) | 攝像頭分辨率≥1100TVL；攝像頭照度≥1Lx；水平清晰度≥(1920×1080)P |
| 4.1.8 | 超高清內(nèi)窺鏡攝像系統(tǒng) | 臺(tái) | 清晰度≥(3840×2160)P；水平線分辨率≥2000線；峰值信噪比≥80dB； |
| 超高清視頻接口數(shù)≥5 | |||
| 4.2 | 治療設(shè)備 | ||
| 4.2.1 | 地氟烷麻醉氣體載藥設(shè)備 | 臺(tái) | 標(biāo)定條件下的輸出濃度相對(duì)誤差≤設(shè)定濃度的±15%或輸送介質(zhì)的±0.5%；流量范圍覆蓋(0.2~15)L/min；最大加藥量≥250mL |
| 4.2.2 | 腦控手部康復(fù)機(jī)器人 | 臺(tái) | 采集通道數(shù)≥24；電壓測量相對(duì)誤差≤±10%；耐極化電壓相對(duì)誤差≤±5%；可實(shí)現(xiàn)動(dòng)作個(gè)數(shù)≥20個(gè)(須包括：集團(tuán)抓手、數(shù)字1-9、對(duì)指、單指分離運(yùn)動(dòng)、拇指環(huán)繞) |
| 4.2.3 | 一次性醫(yī)用電子胃鏡 | 臺(tái) | 頭端部外徑≤(11±0.5)mm；最大插入部外徑≤11mm；彎角(上)≥180o，彎角(下、左、右)≥150o；照度≥8000Lx(10mm)；分辨率≥3.5 lp/mm |
| 4.2.4 | 磁控膠囊內(nèi)窺鏡系統(tǒng) | 臺(tái) | 膠囊式內(nèi)窺鏡質(zhì)量≤(2.7±0.5)g；膠囊式內(nèi)窺鏡工作時(shí)間≥6h；頂點(diǎn)視場角≥(145±20)°；光學(xué)分辨率≥8 lp/mm；工作距范圍≥50mm |
| 4.2.5 | 紫外光治療儀 | 臺(tái) | 輸出光的輻射強(qiáng)度≥30mW/cm2；治療時(shí)間覆蓋(1～140)s，步長≤1s；紅斑測試的時(shí)間覆蓋(3～27)s，步進(jìn)≤3s |
| 4.2.6 | 光纖激光治療儀 | 臺(tái) | 功率穩(wěn)定性≤±5%；最小光斑直徑≤0.2mm；最大掃描面積≥(20×20)mm |
| 4.2.7 | 手術(shù)導(dǎo)航系統(tǒng) | 臺(tái) | 重復(fù)定位精度≤±0.25mm(RMS)；空間跟蹤范圍：X≥1900mm，Y≥1400mm，Z≥3000mm；臨床導(dǎo)航定位精度≤±1.5mm |
| 4.3 | 其他醫(yī)療器械 | ||
| 4.3.1 | 醫(yī)療專用微型電機(jī)生產(chǎn)系統(tǒng) | 套 | 組裝最大允許誤差≤±0.01mm；稼動(dòng)率≥95%；C/T＜8s |
| 4.3.2 | 頭部多源γ射束立體定向放射治療系統(tǒng) | 臺(tái) | 定位參考點(diǎn)偏差≤0.18mm；初次裝放射源時(shí)焦點(diǎn)標(biāo)稱吸收劑量率≥3.1Gy/min；敏感組織保護(hù)模塊：遮擋區(qū)域內(nèi)劑量與照射區(qū)域內(nèi)劑量之比為≤3.6%；最小聚焦野與最大聚焦野的焦點(diǎn)吸收劑量之比≥0.79，最小聚焦野劑量梯度(半影)≤3.0mm |
| 4.3.3 | 基因測序儀 | 臺(tái) | 芯片數(shù)／Run≥4；Lane/芯片≥1；有效reads數(shù)／芯片≥5000M； |
| 支持讀長≥PE150 | |||
| 4.3.4 | 模塊化樣本制備工作站 | 臺(tái) | 儀器通量：支持樣本數(shù)量≥16；樣本類型：全血；移液范圍覆蓋(2~200)μL；移液最大允許誤差：≤±5%(2μL)，≤±1%(200μL) |
| 4.3.5 | 恒溫核酸擴(kuò)增分析儀及配套試劑盒 | 臺(tái) | 檢測時(shí)間≤30min；檢錯(cuò)率≤5%；試劑檢測靈敏度≥100copies/ml |
| 4.3.6 | 全自動(dòng)細(xì)胞形態(tài)分析系統(tǒng) | 臺(tái) | 高精密平臺(tái)定位精度≤±2.5μm；顯微成像對(duì)焦定位誤差≤±0.1μm； |
| 自動(dòng)定位準(zhǔn)確度≥97% | |||
| 4.3.7 | 全自動(dòng)血液細(xì)胞及特定蛋白分析系統(tǒng) | 臺(tái) | 全血模式檢測速度≥100pcs/h；檢測參數(shù)≥48項(xiàng)；研究參數(shù)≥41項(xiàng) |
| 4.3.8 | 數(shù)字乳腺體層合成攝影系統(tǒng) | 臺(tái) | 電流時(shí)間積的調(diào)節(jié)范圍覆蓋(2~630)mAs；空間分辨率≥7 lp/mm；掃描角度范圍覆蓋(-20~+20)°；成像張數(shù)≥17張；重建層厚≤1mm |
| 4.3.9 | 磁共振輸注工作站 | 臺(tái) | 支持設(shè)備類型數(shù)≥2(1.5T，3.0T)；輸液泵輸注流速范圍覆蓋(0.1-2000)ml/h，輸注相對(duì)誤差≤±5%；阻塞壓力檢測范圍覆蓋(6.7~149.6)kPa |
| 4.3.10 | 遠(yuǎn)程超聲診斷系統(tǒng) | 臺(tái) | 主從控制X/Y方向位置重復(fù)性≤0.1mm；主從控制姿態(tài)重復(fù)性≤0.5°；主從控制穩(wěn)定接觸力范圍覆蓋(3~40)N；最大閾值誤差≤±3N；主從控制從動(dòng)設(shè)備末端執(zhí)行器有效工作區(qū)間標(biāo)稱值≥[600(L)×300(W)×350(H)]mm |
| 5.汽車及軌道交通裝備 | |||
| 編號(hào) | 產(chǎn)品分類及名稱 | 單位 | 產(chǎn)品性能技術(shù)參數(shù) |
| 5.1 | 新能源及智能網(wǎng)聯(lián)汽車 | ||
| 5.1.1 | 燃料電池電堆 | 臺(tái) | 單套電堆額定功率≥140kW(兩個(gè)MP03-72A燃料電池電堆模塊串聯(lián))，單模塊額定功率≥72kW；體積比功率≥2.2kW/L；壽命≥10000h；冷啟動(dòng)溫度≤-30℃ |
| 5.1.2 | 港口專用增程式全電動(dòng)低速牽引車 | 臺(tái) | 牽引總質(zhì)量≥70000kg；最高時(shí)速≥40km/h；爬坡度≥6.5% |
| 5.1.3 | 港口專用分布式全電動(dòng)低速牽引車 | 臺(tái) | 額定容量≥630Ah；標(biāo)稱電壓≥518V；額定存儲(chǔ)能量≥325kWh |
| 5.2 | 軌道交通及關(guān)鍵系統(tǒng) | ||
| 5.2.1 | 膠輪有軌電車 | 臺(tái) | 設(shè)計(jì)速度≥80km/h；最小轉(zhuǎn)彎半徑≤15m；最大爬坡能力≥120‰ |
| 5.2.2 | SASⅡ道岔 | 臺(tái) | 轉(zhuǎn)轍時(shí)間≤8s；側(cè)線過岔速度≥15km/h；安全等級(jí)≥SIL4 |
| 5.2.3 | 城市軌道交通CBTC信號(hào)系統(tǒng) | 套 | 測速分辨率≤1km/h；測速誤差≤±3km/h，位置最大測量誤差：≤0.5m(車站站臺(tái))，≤10m(區(qū)間運(yùn)行)，≤1m(折返停車)；控制命令反應(yīng)時(shí)間≤1s，響應(yīng)時(shí)間≤0.75s，系統(tǒng)故障延時(shí)≤0.75s，故障后重新配置時(shí)間＜50ms；傳輸速率：≥1Mbps(無線)，≥100Mbps(有線) |
| 5.2.4 | 軌道交通綜合調(diào)度系統(tǒng) | 套 | 安全完整性等級(jí)≥SIL2；系統(tǒng)容量(系統(tǒng)最高監(jiān)測點(diǎn))≥100萬；系統(tǒng)故障恢復(fù)時(shí)間 MTTR≤30min；系統(tǒng)平均無故障時(shí)間 MTBF≥50000h |
| 5.2.5 | 軌道交通車輛牽引系統(tǒng) | 套 | 供電方式：直流1500V架線式；車輛編組數(shù)≥6(4動(dòng)2拖)；列車最大運(yùn)行速度≥80km/h；平均初始加速度≥1.0m/s2(速度≤35km/h)；平均加速度≥ 0.6m/s2(速度≤80km/h)；常用制動(dòng)平均減速度≥1.0m/s2(速度≤80km/h) |
| 6.航空裝備與衛(wèi)星應(yīng)用 | |||
| 編號(hào) | 產(chǎn)品分類及名稱 | 單位 | 產(chǎn)品性能技術(shù)參數(shù) |
| 6.1 | 測繪無人機(jī) | 臺(tái) | 任務(wù)最大載荷≥154.5N；上升最大高度≥2680m(海拔條件4740m)；抗風(fēng)能力≥7級(jí)；工作溫度范圍覆蓋(-20～55)℃ |
| 6.2 | 垂直起降固定翼無人機(jī) | 臺(tái) | 最大飛行速度≥130 km/h；最大續(xù)航時(shí)間≥150min；最大起飛海拔≥4500m |
| 6.3 | 警用旋翼無人機(jī) | 臺(tái) | 最大抗風(fēng)能力≥7級(jí)；實(shí)用升限≥4000m；最大通信距離≥15km |
| 6.4 | 遙感試驗(yàn)小衛(wèi)星 | 臺(tái) | 寬幅相機(jī)空間分辨率≤74m@739km，幅寬≥744km@739km；中等分辨率相機(jī)空間分辨率≤8.5m@739km，幅寬≥24.5km@739km；姿態(tài)指向精度優(yōu)于0.2°，姿態(tài)穩(wěn)定度≤0.01°/s，姿態(tài)機(jī)動(dòng)能力≤±30°/60s；數(shù)據(jù)傳輸能力≥25Mbps |
| 6.5 | 科學(xué)實(shí)驗(yàn)衛(wèi)星 | 臺(tái) | 寬幅相機(jī)譜段范圍覆蓋(420~700)nm；星下點(diǎn)分辨率≤4.9m@492km；面陣成像幅寬≥(19.9×15)km@492km，視頻成像幅寬≥(18.7×10.5)km@492km |
| 6.6 | 空間組網(wǎng)通訊衛(wèi)星 | 臺(tái) | L頻段：上行頻率覆蓋(1668～1675)MHz，下行頻率覆蓋(1518～1525)MHz； |
| Ka頻段：上行頻率覆蓋(27.5～30.0)GHz，下行頻率覆蓋(17.7～20.2)GHz； | |||
| ADS-B中心頻率1090MHz；ADS-B工作帶寬≥1Mbps | |||
| 6.7 | 高通量衛(wèi)星基帶通信系統(tǒng) | 套 | 帶寬≥500Msps；高階調(diào)制方式≥256APSK；衛(wèi)星接入網(wǎng)與5G核心網(wǎng)無縫融合，協(xié)議轉(zhuǎn)換時(shí)間≤0.2s |
| 6.8 | 全自動(dòng)無人駕駛登機(jī)橋 | 臺(tái) | 平均靠接時(shí)間≤60s；靠接位置偏差：角擺（水平方向）≤±100mm(機(jī)身左右方向)，俯仰（前后方向）≤±40mm(機(jī)身垂直方向)，橫滾（上下方向）≤±20mm |
| 6.9 | 機(jī)場地面設(shè)備監(jiān)控及運(yùn)營管理系統(tǒng) | 套 | 信息響應(yīng)時(shí)間≤2秒(從設(shè)備到監(jiān)控界面)；系統(tǒng)的可靠性(可用性)≥99.99%； |
| 實(shí)現(xiàn)地面設(shè)備服務(wù)過程的3D實(shí)時(shí)監(jiān)控和歷史回放 | |||
| 7. 船舶及海洋工程裝備 | |||
| 編號(hào) | 產(chǎn)品分類及名稱 | 單位 | 產(chǎn)品性能技術(shù)參數(shù) |
| 7.1 | 油田生產(chǎn)回注處理系統(tǒng)裝備 | 套 | 核桃殼過濾器出水端流量≥88m3/h，陶瓷膜過濾器出水端流量≥80m3/h；出口生產(chǎn)水含油量≤8mg/L，懸浮物≤3mg/L，固體顆粒粒徑中值≤2μm |
| 7.2 | 潛水支持船 | 臺(tái) | 飽和潛水≥300m；ROV潛水≥3000m；主動(dòng)式海浪升沉補(bǔ)償?shù)鯔C(jī)≥400噸 |
| 7.3 | 海上超大型多功能浮臺(tái) | 臺(tái) | 浮臺(tái)尺寸≥(75×30)m；承載人數(shù)≥100人；能抵抗12級(jí)臺(tái)風(fēng)或有義波高≥3.5m |
| 7.4 | 高速高性能巡邏艇 | 臺(tái) | 總長≥14.6m；滿載排水量≥10.5噸；航速≥45節(jié)；抗風(fēng)能力≥8級(jí) |
| 8. 新型輕工機(jī)械及節(jié)能環(huán)保裝備 | |||
| 編號(hào) | 產(chǎn)品分類及名稱 | 單位 | 產(chǎn)品性能技術(shù)參數(shù) |
| 8.1 | 智能物流倉儲(chǔ)系統(tǒng) | 套 | 輸送最大速度≥15m/min；設(shè)備稼動(dòng)率≥98%；定位后定位精度≤±1mm，單托盤電池數(shù)量≥1200pcs/h(單條線) |
| 8.2 | 廚電燃?xì)庠钪悄苋嵝钥傃b配線 | 套 | 線體速度≥18m/min；貼標(biāo)尺寸誤差≤±2mm；燃?xì)獗趻鞝t產(chǎn)率≥60pcs/h；產(chǎn)品合格率≥95% |
| 8.3 | 智能化涂裝凈化成套設(shè)備 | 套 | 抽風(fēng)量≥26000m3/h，風(fēng)壓≥700Pa；吹風(fēng)時(shí)間覆蓋(0～99)s；溫度控制范圍(22±3)℃；相對(duì)濕度控制范圍(55±10)%RH |
| 8.4 | 背板貼合機(jī) | 臺(tái) | 貼附位置誤差≤±50μm；兼容范圍(127～294.64)mm；生產(chǎn)節(jié)拍≤4.5s/pcs(尺寸范圍(127～177.8)mm)，生產(chǎn)節(jié)拍≤6.5s/pcs(尺寸范圍(177.8～294.64)mm)；貼合后新增翹曲量≤2mm(翹曲最大位置距離水平面的高度) |
| 8.5 | 動(dòng)力電池拆解及回收自動(dòng)化生產(chǎn)線 | 套 | 容量差≤5%，內(nèi)阻差≤10%；機(jī)器人定位精度≤0.2mm；柔性利用率≥90%； |
| 粉料殘留率≤5% | |||
| 8.6 | 切割后清洗機(jī) | 臺(tái) | 產(chǎn)品尺寸覆蓋(101.6～396.24)mm；產(chǎn)品厚度覆蓋(0.3～1.4)mm；生產(chǎn)節(jié)拍≤4.5s/pcs(產(chǎn)品尺寸≤182.88mm)，生產(chǎn)節(jié)拍≤5s/pcs(182.88mm＜產(chǎn)品尺寸≤246.38mm)，生產(chǎn)節(jié)拍≤9s/pcs(246.38mm＜產(chǎn)品尺寸≤396.24mm) |
| 9. 重大技術(shù)裝備關(guān)鍵配套基礎(chǔ)件 | |||
| 編號(hào) | 產(chǎn)品分類及名稱 | 單位 | 產(chǎn)品性能技術(shù)參數(shù) |
| 9.1 | 加工中心用高速大功率電主軸 | 件 | 額定扭矩≥48Nm(S1/100%)；額定功率≥25KW(S1/100%)； |
| 靜態(tài)偏擺≤0.008mm(標(biāo)準(zhǔn)檢測棒300mm處)；額定轉(zhuǎn)速≥18000rpm | |||
| 9.2 | 雙向饋電集成控制器 | 件 | 峰值功率≥130kw，峰值電流≥450A；集成控制箱體積＜26L，重量＜23kg；EMC滿足CISPER 25，CLASS 3的要求 |
| 9.3 | 扁平大扭矩力矩電機(jī) | 件 | 瞬時(shí)最大輸出扭矩≥2000Nm，連續(xù)最大扭矩≥750Nm；定位精度≤±80″，重復(fù)定位精度≤±2.5″；負(fù)載安裝面平面度≤10μm |
| 9.4 | 全SiC隔離型DCDC電源 | 件 | 開關(guān)頻率≥200kHz；功率密度≥2kW/L，其中最高內(nèi)部單電源模組功率密度≥20kW/L；輸入輸出電壓電流紋波≤1%；最大輸入輸出變比≥500:1 |
| 9.5 | 無縫鋼管廠主軋機(jī)用大功率變頻器 | 件 | 變頻器額定容量≥12MW；網(wǎng)側(cè)額定電壓≥3300V；機(jī)側(cè)額定電流≥2100A； |
| 主回路效率≥98.5%；開關(guān)頻率≥750Hz | |||
| 9.6 | 石油鉆井水冷多傳變頻器 | 件 | 逆變功率覆蓋(800~1700)kW(電壓690V)；調(diào)速范圍OLVC：1:200，CLVC：1:1000，VF：1:50，穩(wěn)速相對(duì)誤差OLVC:≤0.2%，CLVC:≤0.01%；轉(zhuǎn)矩相對(duì)誤差OLVC:≤5%，CLVC:≤5% |
| 9.7 | 海洋工程變頻器 | 件 | 逆變器V/f(開環(huán))速度控制精度≤±1.0%；逆變器SVC(開環(huán)矢量)速度控制精度≤±0.5%；逆變器FVC(閉環(huán)矢量)速度控制精度≤±0.05%；逆變器轉(zhuǎn)矩控制響應(yīng)時(shí)間：開環(huán)控制≤10ms，閉環(huán)控制≤5ms；速度靜態(tài)控制精度：開環(huán)控制電機(jī)滑差≤10％，閉環(huán)控制額定轉(zhuǎn)速≤0.05% |
| 9.8 | 環(huán)衛(wèi)車純電動(dòng)底盤 | 件 | 最高車速≥89km/h；最大爬坡度≥35%；充電時(shí)間≤2h； |
| 等速續(xù)駛里程≥300 km | |||
| 9.9 | 可溶橋塞 | 件 | 最高工作溫度≥185℃；最高工作壓力≥68.9MPa；溶解時(shí)間≤150h(水溫90℃，氯離子含量20000ppm) |
| 9.1 | 大噸位電動(dòng)輪自卸車牽引變流器 | 件 | 額定輸出容量≥2×1050 kVA；最大輸出容量≥2×2100kVA；牽引最大輸出電流≥2×1620A；制動(dòng)最大輸出電流≥2×980A；噸位≥400噸 |
| 9.11 | 高速磁浮列車用大功率牽引變流器 | 件 | 額定容量≥12MVA；交流額定線電壓≥3.3kV；交流額定電流≥2100A；系統(tǒng)效率≥98.5%；開關(guān)頻率≥750Hz |
| 9.12 | 燃?xì)廨啓C(jī)尾筒出口密封片 | 件 | 服役期冷卻孔裂紋≤15mm；產(chǎn)品隨燃機(jī)運(yùn)行≥24000 EOH 或≥1600次啟停 |
